ターボ分子ポンプのメンテナンス

摘要

ターボ分子ポンプ（turbo－molecular pump，TMP）が活用されている真空装置は，核融合·加速器等の先端科学技術分野から電子部品，半導体，フラットパネルディスプレイ（FPD），光学部品等の各種製造装置や電子顕微鏡，リークデイテクタ等の各種分析。試験装置などの一般産業分野に至るまで，多岐に亘っている。TMPの故障は真空装置の稼動停止に直結し，多大な損失を招くことになるため，安定した装置稼動を実現させるためにもTMfの構造を理解し，必要なメンテナンス項目を確認しておくことが重安である。