イオン液体を用いた有機試料の二次イオン質量分析（SIMS）

摘要

二次イオン質量分析法（Secondary Ion Mass Spectrometry，SIMS）は，一次イオンビームを試料表面に照射し，スパッタリングによって真空中に放出されたイオン（いわゆる二次イオン）を質量分析することにより，試料構成元素（あるいは分子）の同定ならびに濃度測定を行う表面分析法である。スパッタリングを用いるため，試料の深さ方向も含めた3次元の濃度分析が高感度（ppm～ppb）で可能であり，半導体や金属材科等の各種材料分野で広く利用されている。