スパッタリングおよびプラズマプロセス技術（SP）部会の活動

摘要

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（以下，SP部会）は（社）日本工業技術振興会傘下の部会として1986年に設立され，1999年から日本真空協会（当時，2010年からは日本真空学会）の部会として30年以上に亘って活動を継続している。日本表面科学会と日本真空学会が合併して新たに日本表面真空学会が設立される節目に，SP部会のこれまでの活動を稔括し，更に新学会での今後の活動方針と果たすべき役割について検討したい。