ヘリウムイオン顕微鏡による表面化学分析用標準試料の経年変化の解析

摘要

HIM二次電子像，HIM後方散乱イオン像およびSEM像は，表面観察像として同一に扱われがちであるが，それぞれの画像のコントラストが一致しているわけではない。我々はこれまで，多種類の元素標準試料をHIMとSEMを用いて同一条件で観察し比較することにより，像のコントラストの違いの原因を検討してきた。この論文では，試料表面の絶縁層がHIM画像に与える影響を調べることを目的とし，2012年に計測した標準試料画像データと同様の条件で2020年に計測した画像データを比較した。その結果，一部の元素のコントラストに経年変化と見られる差が生じたことについて，入射イオンの侵入深さ，酸化層の厚さ，検出信号の脱出深さ等の効果から原因を検討した。