Mikromechanische Bauteile stellen hohe Anforderungen an eine prazise Koordi natenmesstechnik. Dank optimaler Abstimmung aus Kinematik, Sensorik und Software bewaltigt ein neues Messgerat die komplexen Aufgaben zuverlassig. In den letzten Jahren zeigte sich eine rasche Entwicklung der mikromechanischen Herstellungsprozesse unter den Aspekten Genauigkeit, Zuverlassigkeit und Produktivitat. Verfahren wie das Mikrospritzgiessen, Mikrofrasen, Mikrobohren und Mikroerodieren ermoglichen die vollautomatisierte Herstellung von Bauteilen mit geometrischen Strukturen weniger Zehntelmillimeter Grosse mit der Prazision von unter einem Mikrometer (Bild 1). Diese kleinsten Bauteile werden in miniaturisierten Systemen wie Drucksensoren, Motoren, Getrieben, Pumpen, Kugellager, Bioreaktoren und Spektrometern verwendet. Derartige Systeme finden unter anderem in Bereichen der Automobilindustrie, der Medizintechnik und der Messtechnik Anwendung.
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