ウェーハレベルセンサをラインナップに追加

摘要

「トータルソリューション」をメインテーマに、シリンダーキャビネットから排ガス除害まで、供給、排気、材料、メンテナンス、環境の5つの分野からフォローする展示を行う。 新製品としては、今年から新たに取扱いを始めた米サイバーオプティクス社のウェーハレベルセンサがある。 これは製造装置内でウェーハを搬送するロボットの振動や位置決め（センタリング）、ギャップ、レベルなどを測定するもの。 ワイヤレスで測定を行えるため、メンテナンスにかかる時間を大幅に削減できる。