新製品の「WPF後流圧検出式差圧流量計」、デジタルテスターとしての使用も可能「ニードル式低圧標準流量タイプ」半導体製造プロセス用圧力調整器、高精度型層流素子式ガス混合装置「FGミキサー」など

摘要

新製品の「WPF（Wake Pressure of Flowmeter）後流庄検出式差圧流量計」圧と流量を一度に計測できる流量計。ガス種4種をCPUに打ち込める。デジタルテスターとしての使用も可能だ。人口低圧タイプの半導体製造プロセス用圧力調整器「ニードル式低圧標準流量タイプ」は、従来製品より最大流量をアップし、流量特件を向卜させた、小流量「R26シリーズ」、中流量「R36シリーズ」、大流量「RH2シリーズ」の3シリーズをラインナップしている。