電子制御式圧力調整器、大流量用圧力調整器のラインナツフを強化

摘要

新たな機種を加えた電子制御式圧力調整器、ラインナップの拡充を図ってきた大流量用圧力調整器、新シリーズを追加した半導体製造プロセス用の標準流量用圧力調整器、そして腐食性ガスや生成物が発生しやすいガス等への対応力を持った圧力調整器の性能を紹 介する。