100t台キープか

摘要

三塩化ホウ素の2014年出荷量は、2％増、105t前後で推移したと見られる。主な用途は、光ファイバーのドーピング材、シリコン半導体のイオン注入·エッチング、液晶TFTや太陽電池のドーピングの材料として使われる。また、海外では、韓国サムスン電子が低温ポリシリコン（LTPS）TFTに三塩化ホウ素を使っているとされる。