プラックスエアサムスン湯井工場の有機EL向けに3基目の深冷空気分離装置設置

摘要

プラックスエアは、韓国湯井でサムスンディスプレイの 有機EL製造向けに深冷空気 分離装置（供給能力:約2万3000m~3／h）を稼働した。供給する窒素ガスは、製造工程でアプリケーンヨンの冷却 やパージに用いる。ブラックスエアはサムスンディスプレイに対し05年より窒素、酸素、アルゴン、ヘリウムなどのガスを供給、同プラントは湯井工場で3基目となる。