排ガス処理装置国内では車載用半導体製造向けのSF6処理などに各社注力

摘要

国内向け排ガス処理装置事業（除害剤交換及びメンテナンス含む）．の17年度市場規模は10％増のー82億円とみられる。装置ユーザーの大手となる東芝四日市のY6建設やソニ1のCMOSセンサ好調に伴う設備増強に加え、マイクロン東広島の工場増強など大手半導体メーカーの動きが活発だ。装置販売は燃焼式や電気ヒータ式、プラズマ式などで各社好調に推移している。