高純度半導体製造プロセ ス用圧力調整器の新製 品、SUS製ニードル式 入口低圧大流量タイプと 海外スタンダIド対応製 品等

摘要

今年は主力の「高純度半導体製 造プロセス用精密圧力調整器」の 新製品として「L36シリーズ(S US製ニードル式入口低圧大流量 タイプご、海外向けの「L2、 L3、 LHシリーズ」、また真空発生器 「VG-15」を加えた展示を行う。