エア·ゥ才一ター、5G時代支える高周波デバイスに最適化した、低コスト·高性能なGaN基板を開発

摘要

エア·ゥォーター(豊田喜 久夫会長)は、11月26日、低 コスト且つ高性能な高周波ト ランジスタを製造出来る、窒 化ガリウム積層構造 を開発したと発表した。 本誌及び姉妹誌『PROト ロン』でも詳報の通り、同社 では膜を繋ぎに、&基板 上にCSN膜を形成する事で、 安価なCSN基板を製造すると いう、「GaNonSiConSi」技 術を確立していたが、今回の 高周波トランジス夕向けGaN 基板は、同技術の延長線上に ある。