ETEL - Neue Mehrachsenplattform

摘要

Mit TELICA stellt ETEL seine neue Mehrachsenplattform vor, die hauptsachlich fur Backend-Anwendungen zur Halbleiterfertigung eingesetzt wird. Ihre duale Portalbauweise ermoglicht Bewegungen in den drei Freiheitsgraden X, Y und Z, wobei insgesamt acht Achsen gesteuert werden konnen. Laut Angaben des Anbieters erfullt die Plattform die anspruchsvollsten Anforderungen von hochentwickelten Die-Bonding-Prozessen (Flip-Chip, Fan-Out, 3D-Stacked-Packages, μ-LED-Bonding), Dosieranwendungen und mehr.