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机译:基于MEMS的电热量Ba(Zr0.2Ti0.8)O-3薄膜微流体制冷装置的3D-FEM模拟
Tech Univ Dresden Inst Solid State Elect D-01062 Dresden Germany;
Tech Univ Dresden Inst Solid State Elect D-01062 Dresden Germany;
barium titanate; electrocaloric devices; ferroic cooling; microelectromechanical systems; refrigeration;
机译:基于MEMS的电热量Ba(Zr0.2Ti0.8)O-3薄膜微流体制冷装置的3D-FEM模拟
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