広範な用途に対応できる漏れ試験技術：ヘリウム漏れ試験における応答時間の考え方

摘要

例えば、1,000Lの真空チャンバーがあり、ヘリウム撮れ試験の一つである真空吹き付け法を実施するケースを想定して、このとき、トレーサーガスとなるヘリウムの吹き付け時間はどのようにして決定すればよいのか？応答時間とは何か？JISに記載されている応答時間の実測方法の実際は？を平昜に解説する。