Низкотемпературная кислородсодержащая плазма находит широкое применение как в технологии травления, так и для модификации поверхности различных материалов. Значительный интерес с точки зрения технологии представляет использование смесей химически активных газов с аргоном. Выбор и оценка параметров работы плазмохимических реакторов требуют учета многих факторов, важное место среди которых занимают кинетические характеристики процессов гибели активных частиц на различных поверхностях. Кварцевое и молибденовое стекла широко применяются в качестве материалов конструкции плазмохимических реакторов. В то же время, несмотря на большое число работ, посвященных исследованию плазмы смесей O{sub}2 - Ar [1-3], в литературе отсутствуют систематические данные о вероятностях гетерогенной рекомбинации атомов кислорода на поверхности данных материалов.
展开▼
