机译:光学涂层制造中真空室的设备优化
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения;
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения;
НИИ "Гириконд";
покрытие; интерференция; вакуумное осаждение; вращение; однородность; испарение;