РАСЧЕТ ПРОВОДИМОСТИ ПРОФИЛЬНЫХ ЩЕЛЕВЫХ КАНАЛОВ БЕСКОНТАКТНЫХ БЕЗМАСЛЯНЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ В ВЯЗКОСТНОМ РЕЖИМЕ ТЕЧЕНИЯ ГАЗА

摘要

Получена полуэмпирическая формула для расчета проводимости канала, образованного выпуклой и вогнутой цилиндрическими стенками проточной части насоса, применительно к расчету профильных каналов бесконтактных безмасляных вакуумных насосов, в частности, спиральных, винтовых, двухроторных типа Рутс, плунжерных. Предлагаемое простое уравнение, позволяет с минимальными вычислительными затратами получить значения проводимости и массового расхода для сложных профильных каналов. Представлены математические зависимости для расчета геометрических параметров каналов различных профилей. Расчетные значения по формуле применительно к каналам спирального насоса были проверены численным расчетом в пакете Fluent на основании уравнений Навъе-Стокса для вязкостного режима течения газа. Расчет проведен для всего диапазона геометрических параметров каналов известных спиральных вакуумных насосов. Результаты расчетов представлены в графическом виде и в форме таблиц. Проведено сравнение результатов расчета по предлагаемой формуле и численного решения уравнений Навъе-Стокса. Среднее расхождение расчетов составляет всего 2,5%.