気体流量計校正器MRシリーズ：音速ノズルを用いた気体流量標準の確立と気体流量校正器への応用

摘要

当社は、計量法第143条に基づく、JCSS認定事業者である。 認定番号は0088で、区分·分類は、流量、気体小流量である。平成12年10月10日に認定を取得した。 対象ガス種は、窒素ガス、乾燥空気、ヘリウム、アルゴンの4種類で、流量範囲は、例えば窒素ガス、乾燥空気では、0.05g/min～180g/min（約40mL/min ～約140L/min、0°C、1気圧換算）であったが、昨年の経済産業省告示による改訂に伴い、当社もそれに対応して、校正範囲を、常温で安定かつ無害の気体で（即ちガス種の制限解除）、0.005g/min～180g /min（約4mL/min～約140L/min、0°C、1気圧換算、窒素ガスや乾燥空気の場合）と範囲の拡大を行う（本原稿執筆時において、範囲拡大認定の取得作業中（申請済み）である）。