高感度水分測定装置：CRDS技術を用いた半導体材料ガス中の超微量水分測定

摘要

特殊ガスの品質は、半導体業界において非常に重要な意味をもっている。 現在、ウェハのエッチング工程で材料ガスの高純度化が進hでいるが、製造メーカーは不純物としての水分管理に、最も頭を痛めている。 この水分（不純物）は、様々なデバイス製造過程で製品を汚染する可能性を持ち、特にチップのジオメトリーに大きな影響を与える。 材料ガス製造メーカーは、多大な損害を与える歩留まりを解消するために、高価な分析装置を使用して膨大な時間を水分分析に費やしている。