液中パーティクルカウンターによる粒子計測：液中パーティクルカウンタと規格動向

摘要

液体中に浮遊する粒子の計測は、半導体をはじめとする電子工業分野において多く行われている。 特に半導体産業においては、純水や薬液の粒子管理を行うための重要な測定項目の一つである。 また、ハードディスクドライブ(HDD)においても記録密度の向上に伴い、粒子管理の重要度が増している。 薬液中に浮遊する粒子やHDDの部品に付着している粒子は、その供給側と使用者側で粒子数の限度値が取り交わされているため、パーティクルカウンタのデータは信頼できるものでなければならない。 信頼できる測定データを得るためにパーティクルカウンタに要求される項目は、どのようなものであるか、また清浄度が高い場合のデータの解釈の位方について説明する。 さらに現在、液体清澄化工業会において純水の清浄度のクラス分けのJISも審議されており、この内容についても説明する。