Влияние поверхностной модификации пучками ионов кремния на микроструктуру и химический состав приповерхностных слоев никелида титана

摘要

Изучены закономерности изменения химического состава и микроструктуры никелида титана после воздействий на его поверхность потоками ионов кремния в режиме высокодозовой ионной имплантации. Показано, что воздействие пучками ионов кремния на поверхность сплава TiNi приводит к формированию оксидного слоя в ~6 раз большей толщины, чем у исходного сплава, с содержанием кислорода в нем на ~20 % больше, чем до ионно-пучковой обработки, и обедненного никелем вплоть до его отсутствия в приповерхностном слое облученного образца толщиной около 20 нм. Исследования методами дифракции обратнорассеянных электронов приповерхностной зоны под облученной поверхностью в образцах никелида титана показали, что под действием пучков ионов кремния имеет место фрагментация приповерхностной части отдельных зерен фазы В2, выходящих на поверхность, с образованием зеренно-субзеренной структуры с уменьшением размеров фрагментов (зерен) до 5 - 15 мкм. Высказано предположение о влиянии ориентации зерна на выявленный эффект.