Создание нанопористых тонкопленочных композитов с использованием технологии ионно-стимулированного осаждения

摘要

Изучены основные закономерности формирования V - N - Не тонких пленок, осаждаемых в условиях бомбардировки смешанными пучками высокоэнергетичных ионов азота и гелия, исследованы их структурно-фазовые, электрофизические и адсорбционные характеристики. Данные электронно-микроскопического анализа доказывают, что формирование структуры V - N - Не-соединений происходит в условиях конкуренции нескольких проходящих одновременно процессов, которые приводят к формированию нанокристаллической структуры, содержащей микропоры размером от 5 нм до 5 мкм. Рассмотрена роль ионной бомбардировки и адсорбции газа из остаточной атмосферы в формировании пористости. Сопоставление данных Резерфордовского обратного рассеяния (РОР) и профилометрии позволило определить величину пористости пленок - 27%. В диапазоне исследованных давлений водорода (до 0,35 МПа) было адсорбировано до 7 вес.% Н. Показано, что основная часть водорода аккумулируется порами. Количество адсорбируемого газа определяется величиной пор, их распределением и составом газовой среды в них.