Влияние облучения высокоэнергетическими электронами на адгезию вольфрамовой плёнки к кремниевой подложке

摘要

Используя метод неразрушающего контроля адгезии границы контакта плёнка - подложка по величине тепловой проводимости α_(12), проведено исследование изменения α_(12) для системы вольфрамовая плёнка (0,8 мкм) - кремниевая подложка (0,7 мм) после облучения высокоэнергетическими электронами. Показано, что облучение приводит к увеличению тепловой проводимости границы раздела и улучшению адгезионных характеристик.