ПРИМЕНЕНИЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ В ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ОРГАНИЗАЦИЯХ ТЕХНИЧЕСКОГО ОБСЛУЖИВАНИЯ

摘要

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) являются существенной частью новых промышленных установок и систем их управления. Основные достоинства приборов МЭМС: малые массы и габариты; возможности изготовления по групповой технологии, что обеспечивает значительное снижение их стоимости; высокая чувствительность; малая потребляемая электрическая мощность. Приборы МЭМС разделяются на сенсоры и актюаторы. Сенсоры обеспечивают преобразование физической энергии в электрические сигналы или в соответствующие изменения сопротивлений резисторов или емкостей конденсаторов.