Типовые требования к датчикам давления различного назначения приведены в табл. 1. Для защиты кремниевых измерительных преобразователей (ИП) датчиков давления, предназначенных для работы в жестких производственных условиях, используются стальные мембраны, заполнение маслом и механическая защита от перегрузок. При этом стоимость корпуса в 50-100 раз может превышать стоимость самого чипа [1]. В других применениях устойчивость к действию среды пытаются повысить за счет подвода давления к обратной стороне чипа или использования гелевого покрытия. Конструкцию корпуса обычно выбирают эмпирически и без учета влияния среды на чип и на измеряемую величину. В рамках настоящей работы на примере разработки пьезорезистивного дифференциального датчика с диапазоном измерения от 10 мбар до 10 бар показан учет влияния окружающей среды уже на этапе проектирования корпуса.
展开▼
