КАЛИБРОВКА МНОГООСНЫХ СЕНСОРОВ МАЛЫХ УСИЛИЙ ПО МЕТОДУ ИЗМЕНЕНИЯ УГЛОВЫХ ПОЛОЖЕНИЙ ПРИ ФИКСИРОВАННОМ ПО НАПРАВЛЕНИЮ УСИЛИИ

摘要

Калибровка многоосных сенсоров усилий с малыми верхними пределами измерений, составляющими единицы или десятки мкН, связана с большими трудностями. Описаны применяемые в микроэлектромеханических систе-мах (МЭМС) ёмкостные сенсоры малых усилий, отличительной особенностью которых являются незначительные деформации чувствительных элементов под воздействием измеряемых усилий. Применительно к таким сенсорам усилий рассмотрен новый метод калибровки, предусматривающий ступенчатое задание сенсорам угловых перемещений в пределах 360 при фиксированных значениях и направлениях приложенных калибровочных усилий.