ハードディスク磁気ヘッド洗浄の現状と将来：ブラシ、低周波超音波洗浄よりダメージレス、均一/安定性のある洗浄へ

摘要

本稿はハードディスク用磁気ヘッド生産工程における現在の主な汚れ、洗浄工法について紹介したものである。また今後の洗浄に求められるもの及び超音波洗浄に対する要求に関して言及したものである。