気体用パーティクルカウンタの管理·校正

摘要

光散乱式気中粒子計数器（以下「パーティクルカウンタ」という）は、様々な環境の空気中に浮遊する粒子の大きさ（粒径）及び個数の測定に利用されている。扱いが容易で即時性に優れ、自動測定や環境に応じた濃度の測定が可能などの特長があり、クリーンルームにおける空気清浄度の測定を始め、装置の発塵試験やフィルタの性能試験等、利用分野が拡大している。また、種類も小型の可搬形のものから大型で大流量のもの等、多岐にわたっている。