超音波III（材料評価）：1. T形表面SH波センサを用いた表面SH波の伝搬経路解析

摘要

現在、T形表面SH波センサの表面SH波の伝搬経路が定かではなく、どの程度の深さまでの平均応力を測定しているのかはわかっていない。 本研究では、受信子間距離や周波数の異なるT形表面SH波センサを用いて表面異方性が板厚方向で線形に変化する材料を測定することにより、表面SH波の伝搬経路を実験的に調べた結果を報告する。