КАРТОГРАФИРОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ МАТЕРИАЛОВ С ПОМОЩЬЮ ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНОГО ЗОНДА

摘要

На основе функциональных зависимостей, используемых в методе инструментального наноиндентирования, предложен способ получения карты твердости в процессе сканирования поверхности образца пьезорезонансным зондом. Разработана методика измерения зависимости твердости материала от глубины в процессе углубления острия зонда в поверхность. Экспериментальная проверка методики проведена на образцах стекловолокна в полимерной матрице, полиметилметакрилата и плавленого кварца с использованием сканирующего нанотвердомера "НаноСкан 3Д". Метод предполагает наличие априорной информации о модуле упругости материала.