МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЙ БЕСКОНТАКТНЫЙ ПРОФИЛОМЕТР НА ОСНОВЕ ПЕРЕСТРАИВАЕМОГО АКУСТООПТИЧЕСКОГО ФИЛЬТРА ИЗОБРАЖЕНИЙ

摘要

Разработан бесконтактный профилометр полного поля, работающий по схеме оптического когерентного микроскопа со спектральной регистрацией. Его особенностью является то, что спектральная селекция осуществляется в приемном канале. Для этого использован акустооптический монохроматор изображений. Приведены экспериментальные результаты измерения рельефа поверхности.