МЕТОДИКА　ОПРЕДЕЛЕНИЯ　РАСПРЕДЕЛЕНИЯ　ДИАМЕТРОВ　ПОР　В　ТОНКИХ　МЕТАЛЛИЧЕСКИХ　ПЛЕНКАХ

摘要

Описана простая методика определения распределения диаметров микроскопических цилиндрических пор в тонких пленках меди и никеля, химически осажденных из газовой фазы на прозрачные подложки. Методика основана на подсчете числа светящихся точек, наблюдаемых в проходящем свете с помощью микроскопа, при последовательных операциях гальванического наращивания слоя металла на поверхность исследуемой пленки, содержащей поры. При этом осаждение слоя толщиной h сопровождается заращиванием пор с диаметром, меньшим 2h.