УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ С. В. Ч.-РАЗРЯДА ПРИ ДАВЛЕНИЯХ ДО НЕСКОЛЬКИХ АТМОСФЕР

摘要

Описана конструкция с. в. ч. разрядного устройства, в котором разряд возбуждается электромагнитной поверхностной волной с частотой 2. 45 ГГц. Стабильный разряд поддерживался при давлении газа p{sub}0 выше атмосферного в He, N{sub}2, смесях H{sub}2-аг, H{sub}2-Не и O{sub}2-Не в кварцевой трубке внутренним диаметром 2 мм с соплом 00.15 мм при с. в. ч. -мощности 50-115 Вт. Для чистого H{sub}2 при p{sub}0 = 6 Торр и 6%-ной смеси H{sub}2 с Не при p{sub}0 = 50 Торр достигнута степень диссоциации до 80%. С увеличением p{sub}0 (до 19 Торр для H{sub}2 и до 300 Торр для смеси) интенсивность потока атомов водорода, несмотря на уменьшение степени диссоциации, увеличивается вследствие сужения распределения по скоростям частиц пучка.