СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ СИНТЕЗА НИЗКОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР И ИХ IN SITU ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ МАГНИТОЭЛЛИПСОМЕТРИИ В ТЕМПЕРАТУРНОМ ДИАПАЗОНЕ 85-900 К

摘要

Представлены результаты модернизации сверхвысоковакуумной многофункциональной установки, позволяющей в едином технологическом цикле получать полупроводниковые или металлические наноструктуры и исследовать их оптические и магнитооптические свойства в температурном диапазоне 85—900 К. Возможности созданной системы были продемонстрированы на примере исследования температурной зависимости комплексной диэлектрической проницаемости объемного Si посредством спектральных эллипсометрических измерений.