РЕЗИСТИВНЫЙ ДИНАМИЧЕСКИЙ ИСПАРИТЕЛЬ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ

摘要

Описан резистивный динамический испаритель, предназначенный для формирования тонких пленок многокомпонентных материалов. Конструкция испарителя содержит полость Φ19 и высотой 24 мм и коаксиально входящую в нее коническую заслонку, а также проволочный нагреватель. Когда сила давления паров испаряемого материала начинает превышать силу прижима заслонки к торцевой поверхности корпуса, происходит его разгерметизация, а в противоположном случае - восстановление исходного состояния. На примере теллурида кадмия показано, что отмеченная особенность обеспечивает формирование тонких пленок многокомпонентных материалов высокого качества.