АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕРАВНОВЕСНЫХ ВОЛЬТ-ФАРАДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК В СИСТЕМЕ ЭЛЕКТРОЛИТ-ПОЛУПРОВОДНИК

摘要

Описана устанрвка для измерения неравновесных вольт-фарадных характеристик в полупроводниковых структурах с электролитическим контактом. Использован импульсный метод, в котором область объемного заряда в режиме глубокого обеднения создавалась путем подачи импульса напряжения смещения. Измерение емкости в неравновесном режиме позволяет избежать образования инверсного слоя в системе электролит - полупроводник, наличие которого приводит к завышению результатов измерения концентрации примеси в узкозонных полупроводниках. Показана возможность применения данной методики для измерения концентрации примеси в слаболегированном n-InAs.