КРЕМНИЕВЫЙ ПОЛЕВОЙ ДАТЧИК ХОЛЛА С РАСШИРЕННЫМ ДИАПАЗОНОМ РАБОЧИХ ТЕМПЕРАТУР

摘要

Исследованы характеристики тонкопленочных кремниевых магнитотранзисторов со структурой металл-диэлектрик-полупроводник-диэлектрик-металл с встроенным обогащенным каналом и частичным обеднением квазинейтральной области. Конструкция транзисторов интегрирована с элементом Холла. Экспериментально показано, что транзисторы такого типа, получившие название полевых датчиков Холла (п.д.Х.) и изготовленные по технологии "кремний на изоляторе", обеспечивают измерения магнитной индукции в диапазоне температур от 1.7 до 605 К. Теоретические оценки показывают, что верхний предел рабочей температуры п.д.Х. может быть порядка 850 К.