ディスプレー感光性フィルムへの展開－LCD用ブラックマトリックス、フォトスペーサードライフィルムの開発

摘要

液晶ディスプレー(LCD)用ブラックマトリックス及びフォトスペーサー形成用の材料は、従来液状タイプが主流であったが、弊社にて新たに塗布·乾燥工程が不要な感光性ドライフィルムとして開発した。 ブラックマトリックス用ドライフィルムでは、遮光性とパターニング性を両立させるために、露光時の硬化深度の把握·高感度化·ポストベーク時の形状安定化を検討し、基本性能を満たしつつ形状のブントロールを可能とした。 またフォトスペーサー用ドライフィルムでは、組成検討、特に添加モノマーの検討により、形状コントロール性·良好な圧縮特性が得られるようになった。