二層構造表面性状の評価（第2報,パラメータの導出）

摘要

二層構造表面をパラメータにより評価し，しゅう動面やその加工において利用することは，工業界において非常に重要な評価技術であると考えられる．しかし，ISO 13565-3（以下ISOという）が規定する評価方法は，手順が非常に煩雑であり計算時間が長いため工業界で活用された例はほとhどない．本研究は，前報の双曲線当てはめのアルゴリズムの妥当性を確認し，二層構造表面の評価が産業界で利用できるように，ISO 13565-3の規定を損なわない範囲で計算時間を短縮することを主目的とする．本研究では，標準の評価長さの粗さ曲線から求める粗さパラメータを対象にする．ISOによる二層構造表面の粗さパラメータは，正規確率紙上で定義される図1のRpq，Rvq，Rmgである．sは標準偏差を表す．これらのパラメータは，双曲線の線形近似領域UPL～LPL，UVL～LVLにおける回帰直線から求める．UPL，LVLを導く手法は前報で報告したが，本研究では，まずLPL，UVLを効率よく導く手法を開発し，プラトー加工の目安を粗さパラメータRmgを用いて考察する．なお，本研究でいう負荷曲線とは，正規確率紙に表された負荷曲線を指すものとする．