段差評価手法による不確かさ比較

摘要

測定結果の信頼性の表現方法として、近年、不確かさが広く用いられるようになってきている。いろいろな方法により、不確かさが見積もられている。それら不確かさの値はどの程度妥当なのかを検証するため、測定機のスケールを校正するための標準を同一とし、二種の測定機を用いて、ある被測定物の段差値を評価した。その際、段差値の計算方法を4種とし、それぞれの不確かさを求め、比較検討した。なお、不確かさが表記されている被測定物を用いた。これらの結果から、被測定物の表示不確かさを含め、測定機と評価値を求めるための計算方法による不確かさへの影響についても検討した。