形状記憶合金被膜磁性リボンを用いたセンサ一体型アクチュエータ

摘要

形状記憶合金は、既存のアクチュエータにない大きな変位及び力を有する超小型アクチュエータへの応用が期待されている。しかし、変位の温度特性にヒステリシスが存在するため、温度による変位の精密な制御が困難である。一方、石田らはTiNi形状記憶合金にCuを添加することにより、薄膜の作製温度を低下させると共に、加熱·冷却による二方向性形状記憶効果を実現している。本研究ではTiNiCu形状記憶合金を被覆した磁性リボンの温度変化に伴う共振挙動を測定し、変位センサー体型アクチュエータの変位及び共振挙動と形状記憶合金膜厚の相関を検討した。