МЕТОДЫ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО АНАЛИЗА ПОЛЯРИЗАЦИОННО-ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ НЕОДНОРОДНЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ЭЛЕМЕНТОВ ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

摘要

На основе теорий отражения поляризованного света Друде–Борна описаны основные закономерности изменения основных эллипсометрических параметров отраженного светового пучка от неоднородных поверхностных слоев силикатных стекол. Изложен метод физико-математического моделирования профиля показателя преломления неоднородного поверхностного слоя силикатных стекол, позволяющий при наименьшей вероятности ошибки второго рода определять модель неоднородной отражающей системы, адекватной объекту исследования.