ОПТИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК NiO, ИЗГОТОВЛЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ И СПРЕЙ-ПИРОЛИЗА

摘要

Изготовлены тонкие пленки NiO методами реактивного магнетронного напыления и спрей-пиролиза. Определены основные оптические константы тонких пленок: показатель преломления п(λ), коэффициент поглощения α(λ), коэффициент экстинкции к(λ) и толишна d. Установлена зависимость сопротивления тонких пленок от температуры и определена энергия активации для пленок, полученных разными методами.