Влияние водородной атмосферы на свойства пленки оксида алюминия на титане ВТ1-0

摘要

Работа посвящена взаимодействию пленки оксида алюминия, нанесенной на технически чистый титан марки ВТ 1-0 методом магнетронного реактивного напыления, с водородсодержащей атмосферой. Время выдержки данной системы в водородсодержащей атмосфере составляло 1—4 h при прочих неизменных параметрах. Получены данные по распределению водорода по глубине (толщине пленки) и его содержанию в тонкопленочной системе, выявлено влияние времени выдержки в водородной атмосфере на адгезию коэффициент трения пленки, определена поверхностная электропроводность и распределение водорода в пленке оксида алюминия.