Математическое моделирование является эффективным инструментом исследования сложных физических явлений [1], [2], к которым относится и плазма высокочастотных (ВЧ) разрядов пониженного давления [3]. Этот вид газоразрядной плазмы создается в результате воздействия электромагнитного поля частотой f = 1,76 /13,56 МГц, генерируемого с помощью индуктора или электродов в кварцевой трубке диаметром 1 ч- 5 см при давлении плазмообразующего газа р = 1,334-133 Па.
展开▼
