Радиочастотные элементы и устройства на основе компонентов микросистемной техники

摘要

Активно разрабатываемые перспективные компоненты, служащие основой различных устройств, — МСТ резонаторы. В общем случае такой резонатор содержит подвижную (резонирующую) часть и один или несколько электродов, на которые поступает переменное напряжение сигнала, а иног-да и постоянное управляющее напряжение. Электростатические силы, создаваемые переменным электрическим полем, вызывают колебания подвижной части резонатора. Его резонансная частота определяется свойствами материала, формой и размерами. По своей конструкции МСТ резонаторы можно разделить на группы с радиальными, продольными и поперечными колебаниями подвижного элемента.