На базе кинетического описания электронной и ионной подсистемы плазмы демонстрируется физический механизм формирования объемной структуры разряда низкого давления в плоском диоде. Моделирование дает возможность проследить за всеми деталями этого процесса, в том числе за эволюцией функций распределения электронов и ионов по энергиям на всех этапах развития пробоя. Выявлен механизм формирования потока ионов к аноду в нестационарной фазе пробоя.
展开▼