ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ЕМКОСТНОЙ РАЗРЯД С ПРОТОЧНЫМИ ЖИДКИМИ ЭЛЕКТРОДАМИ ПРИ ПОНИЖЕНИИ ДАВЛЕНИЯ

摘要

Представлены результаты экспериментальных исследований низкотемпературной плазмы высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда между двумя проточными жидкими электродами диапазоне давления от 10~3 до 10~5 Па. Исследованы электрофизические спектральные характеристики разряда. Получены оценки состава плазмы, концентрации электронов, колебательной и вращательной температуры молекул. Описаны формы и типы разряда, тепловые и газогидродинамические процессы в зоне горения разряда.